Pambuka pembawa wafer
KATAGORI PRODUK
▶Sistem Pembawa Wafer kanggo Proses PECVD & TALOX
• Prau Grafit PECVD & TALOX (M4~M12)
• Prau SM Vertikal (M4, M6)
• Bagean Grafit Implan & Pancuran (M4~M6)
• Baki C/C & Lapisan Keramik
• Lapisan RIE-Tray & Keramik Logam
• Penyegelan Vakum: O-Ring & SQ-Ring
▶Proses Transfer Tekstur & Ukiran Basah
• LSC H-Carrier utawa kaset (M4~M12)
• LSC V-Carrier utawa kaset (M4~M12)
• Pembawa ASC utawa kaset (M4, M6)
• Kanthi Kothak Pembawa & Panyimpenan (M4~M12)
• Seri Roda Transportasi (Roller)
▶Pembawa Sel Surya & Pembawa Logam
• Pembawa utawa kaset TRC (M4~M12)
• Majalah (karo BELT)
Prau Grafit (Tipe-H)
19P6-216CT (WF M4~M12)
Prau Grafit (Tipe-H)
21P6-240CT WF M4~M12)
Prau Grafit (Tipe-H)
23P7-308CT (Kanthi M4~M12)
Prau Grafit (Tipe-H)
22P/7-294TP (Kanthi M4~M12)
Prau Grafit (Tipe-H)
W182-22P7-294CT (Kanthi M12)
W182-21P6-240CT (Kanthi M12)
Kothak Panyimpenan & Wadhah WF (~M12)
C/C TRAY utawa OWAH-OWAHAN (M4~M10)
C/C TRAY utawa OWAH-OWAHAN (M4~M10)
Prau Vertikal (SM) M6
LSC-H-CARRER(~M12)
LSC-V-CARRER(~M12)
PANGANGGO ASC (~M6)
PENGANGKU TRC(~M12)
PENGANGKU TRC(~M12)
Prau Grafit (M12)
Sistem Pembawa Wafer kanggo Proses PECVD
▶ PRAU GRAFIT (Dirancang CT) Proses M10/M12
• KONSEP DESAIN KHUSUS
▶ PRAU GRAFIT (Dirancang CT) Proses M4/M6
▶ Onderdil Aksesoris Prau
▶ WAFER PRAU VERTIKAL-161.7mm
▶ WAFER PRAU VERTIKAL-166mm
▶ PRAU VERTIKAL-161.7mm, WAFER 166mm
Pembawa Sel Surya & Pembawa TRC Logam
JENIS: Otomatisasi
UKURAN WAFER: ① 156×156MM ② 156.75×156.75MM
③161.7x161.7MM ④166x166MM
⑤ 180×180mm ⑥ 210×210mm
PANGGUNAAN: Digawa (Kaset)
KAPASITAS: 100 lembar
JARAK: 4.76MM/5.953mm/6.35mm
UKURAN: Kira-kira 559×220×220MM
Kira-kira 712×260×260MM
KEUNTUNGAN: Atmosfer
BAHAN: GENI, SIDE BAR-Aluminium (anodizing)
PLAT SAMPING-POM (Antistatik)
Penutup palang ngisor-EPDM/PU/VITON (ASE)
PENGANGKUTAN TRC-LOGAM (JALUS U'SER)
PENGANGKUTAN TRC-LOGAM (JALUS U'SER)
PENGANGKUTAN TRC-LOGAM (JALUS U'SER)
PINGGAN & IMPLAN ADHEM, PEMBAWA
