2~6 inch 4° off-angle P-jinis substrat 4H-SiC

Katrangan singkat:

4° off-angle P-type 4H-SiC substrate minangka bahan semikonduktor tartamtu, ing ngendi "4° off-angle" nuduhake sudut orientasi kristal wafer dadi 4 derajat off-angle, lan "P-type" nuduhake jinis konduktivitas semikonduktor. Materi iki nduweni aplikasi penting ing industri semikonduktor, utamane ing bidang elektronika daya lan elektronik frekuensi dhuwur.


Detail Produk

Tag produk

Substrat 4H-SiC saka Semicera 2 ~ 6 inci 4 ° off-angle dirancang kanggo nyukupi kabutuhan daya kinerja dhuwur lan produsen piranti RF. Orientasi off-angle 4 ° njamin pertumbuhan epitaxial sing dioptimalake, nggawe substrat iki minangka dhasar sing cocog kanggo sawetara piranti semikonduktor, kalebu MOSFET, IGBT, lan dioda.

Substrat P-jinis 4H-SiC 2 ~ 6 inci iki nduweni sifat materi sing apik, kalebu konduktivitas termal sing dhuwur, kinerja listrik sing apik, lan stabilitas mekanik sing luar biasa. Orientasi off-angle mbantu nyuda Kapadhetan micropipe lan ningkataké lapisan epitaxial Gamelan, kang kritis kanggo nambah kinerja lan linuwih saka piranti semikonduktor final.

Substrat 4H-SiC Semicera 2 ~ 6 inci 4 ° off-angle kasedhiya ing macem-macem diameter, saka 2 inci nganti 6 inci, kanggo nyukupi syarat manufaktur sing beda. Substrat kita dirancang kanthi tepat kanggo nyedhiyakake tingkat doping sing seragam lan karakteristik permukaan sing berkualitas tinggi, supaya saben wafer memenuhi spesifikasi sing ketat sing dibutuhake kanggo aplikasi elektronik canggih.

Komitmen Semicera kanggo inovasi lan kualitas mesthekake yen substrate P-type 4H-SiC 2~6 inch 4° off-angle nyedhiyakake kinerja sing konsisten ing macem-macem aplikasi saka elektronika daya nganti piranti frekuensi dhuwur. Produk iki nyedhiyakake solusi sing bisa dipercaya kanggo generasi sabanjure semikonduktor sing efisien energi, kinerja dhuwur, ndhukung kemajuan teknologi ing industri kayata otomotif, telekomunikasi, lan energi sing bisa dianyari.

Standar sing gegandhengan karo ukuran

Ukuran

2-Inci

4-Inci

Dhiameter 50,8 mm ± 0,38 mm 100,0 mm+0/-0,5 mm
Orentasi lumahing 4°menyang<11-20>±0,5° 4°menyang<11-20>±0,5°
Panjang Datar Utama 16,0 mm ± 1,5 mm 32,5mm ± 2mm
Panjang Datar Sekunder 8,0 mm ± 1,5 mm 18,0 mm ± 2 mm
Orientasi Flat Primer Parallelto <11-20>±5.0° Parallelto<11-20>±5.0c
Orientasi Datar Sekunder 90 ° CW saka utami ± 5.0 °, silikon ngadhepi munggah 90 ° CW saka utami ± 5.0 °, silikon ngadhepi munggah
Lumahing Rampung C-Face: Semir Optik, Si-Face: CMP C-Face:OpticalPolish, Si-Face: CMP
Wafer Edge Beveling Beveling
Kekasaran lumahing Si-Face Ra<0,2 nm Si-Face Ra<0.2nm
kekandelan 350.0±25.0um 350.0±25.0um
Politipe 4H 4H
Doping tipe p tipe p

Standar sing gegandhengan karo ukuran

Ukuran

6-Inci
Dhiameter 150,0 mm+0/-0,2 mm
Orientasi lumahing 4°menyang<11-20>±0,5°
Panjang Datar Utama 47,5 mm ± 1,5 mm
Panjang Datar Sekunder ora ana
Orientasi Flat Primer Podo karo <11-20>±5.0°
Orientasi Datar Sekunder 90°CW saka primer ± 5.0°, silikon madhep munggah
Lumahing Rampung C-Face: Semir Optik, Si-Face: CMP
Wafer Edge Beveling
Kekasaran lumahing Si-Face Ra<0,2 nm
kekandelan 350,0±25,0μm
Politipe 4H
Doping tipe p

Raman

2-6 inch 4° off-angle P-jinis substrat 4H-SiC-3

Kurva goyang

2-6 inch 4° off-angle P-jinis substrat 4H-SiC-4

Kepadatan Dislokasi (Etsa KOH)

2-6 inch 4° off-angle P-jinis substrat 4H-SiC-5

Gambar etsa KOH

2-6 inch 4° off-angle P-jinis substrat 4H-SiC-6
wafer SiC

  • Sadurunge:
  • Sabanjure: