Substrat SiC tipe N 6 inci

Katrangan singkat:

Semicera nawakake macem-macem wafer SiC 4H-8H. Wis pirang-pirang taun, kita wis dadi produsen lan pemasok produk kanggo industri semikonduktor lan fotovoltaik. Produk utama kami kalebu: piring etch silikon karbida, trailer perahu silikon karbida, kapal wafer silikon karbida (PV & Semikonduktor), tabung tungku silikon karbida, dayung kantilever silikon karbida, chuck silikon karbida, balok silikon karbida, uga lapisan CVD SiC lan lapisan TaC. Nutup paling pasar Eropah lan Amérika. We look nerusake kanggo dadi partner long-term ing China.

 

Detail Produk

Tag produk

Silicon carbide (SiC) materi kristal tunggal nduweni jembar band longkangan gedhe (~ Si 3 kaping), konduktivitas termal dhuwur (~ Si 3,3 kaping utawa GaAs 10 kaping), tingkat migrasi saturasi elektron dhuwur (~ Si 2,5 kaping), listrik risak dhuwur lapangan (~ Si 10 kaping utawa GaAs 5 kaping) lan ciri pinunjul liyane.

Bahan semikonduktor generasi katelu utamane kalebu SiC, GaN, berlian, lan liya-liyane, amarga lebar celah pita (Eg) luwih gedhe tinimbang utawa padha karo 2,3 volt elektron (eV), uga dikenal minangka bahan semikonduktor celah pita lebar. Dibandhingake karo bahan semikonduktor generasi pisanan lan kaloro, bahan semikonduktor generasi katelu duwe kaluwihan saka konduktivitas termal dhuwur, kolom listrik risak dhuwur, tingkat migrasi elektron jenuh dhuwur lan energi iketan dhuwur, kang bisa nyukupi syarat anyar teknologi elektronik modern kanggo dhuwur. suhu, daya dhuwur, tekanan dhuwur, frekuensi dhuwur lan resistance radiation lan kahanan atos liyane. Nduwe prospek aplikasi penting ing bidang pertahanan nasional, penerbangan, aeroangkasa, eksplorasi minyak, panyimpenan optik, lan sapiturute, lan bisa nyuda mundhut energi luwih saka 50% ing pirang-pirang industri strategis kayata komunikasi broadband, energi surya, manufaktur mobil, cahya semikonduktor, lan kothak pinter, lan bisa ngurangi volume peralatan dening luwih saka 75%, kang wigati tonggak sejarah kanggo pangembangan ilmu lan teknologi manungsa.

energi Semicera bisa nyedhiyani pelanggan karo kualitas dhuwur Conductive (Conductive), Semi-insulating (Semi-insulating), HPSI (High Purity semi-insulating) substrate silikon karbida; Kajaba iku, kita bisa nyedhiyani pelanggan karo lembaran epitaxial silikon karbida homogen lan heterogen; Kita uga bisa ngatur sheet epitaxial miturut kabutuhan khusus pelanggan, lan ora ana jumlah pesenan minimal.

barang

Produksi

Riset

goblok

Parameter Kristal

Politipe

4H

Kesalahan orientasi lumahing

<11-20 >4±0.15°

Parameter Listrik

Dopan

Nitrogen tipe n

Resistivity

0,015-0,025 ohm · cm

Parameter Mekanik

Dhiameter

150,0 ± 0,2 mm

kekandelan

350±25 μm

Orientasi flat utama

[1-100]±5°

Dawane warata utami

47,5 ± 1,5 mm

Flat sekunder

ora ana

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm (5mm * 5mm)

≤5 μm (5mm * 5mm)

≤10 μm (5mm * 5mm)

gandhewo

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Warp

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Kekasaran ngarep (Si-face) (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Struktur

Kapadhetan micropipe

<1 ea/cm2

<10 ea/cm2

<15 ea/cm2

Kotoran logam

≤5E10atom/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Kualitas ngarep

Ngarep

Si

Rampung lumahing

Si-face CMP

partikel

≤60ea/wafer (ukuran≥0.3μm)

NA

Goresan

≤5ea/mm. Dawane kumulatif ≤Diameter

Kumulatif dawa≤2 * Diameter

NA

Kulit jeruk / pit / noda / striations / retak / kontaminasi

ora ana

NA

Pinggir chip / indents / fraktur / piring hex

ora ana

Wilayah politipe

ora ana

Area kumulatif≤20%

Area kumulatif≤30%

Tandha laser ngarep

ora ana

Kualitas mburi

Rampung mburi

C-pasuryan CMP

Goresan

≤5ea/mm, Kumulatif length≤2 * Diameter

NA

Cacat mburi (keripik pinggir / indentasi)

ora ana

Kekasaran mburi

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Tandha laser mburi

1 mm (saka pinggir ndhuwur)

Pinggir

Pinggir

Chamfer

Kemasan

Kemasan

Epi-siap karo kemasan vakum

Kemasan kaset multi-wafer

* Cathetan: "NA" tegese ora ana panjaluk.

tech_1_2_size
wafer SiC

Panggonan Kerja Semicera Panggonan kerja Semicera 2 Mesin peralatan Pengolahan CNN, reresik kimia, lapisan CVD layanan kita


  • Sadurunge:
  • Sabanjure: