Perahu Grafit PECVD Isostatik

Isostatic PECVD Graphite Boat Gambar Unggulan

Katrangan singkat:

Prau grafit PECVD Isostatic digunakake ing macem-macem tautan manufaktur semikonduktor, kayata deposisi film polysilicon, deposisi film oksida, deposisi film nitride, lan liya-liyane. Kinerja sing apik banget ndadekake operator wafer sing cocog ing proses PECVD.

Kirimi email kanggo kita

Detail Produk

Tag produk

SEMICERA isostatic PECVD grafit prau punika dhuwur-kemurnian, dhuwur-Kapadhetan produk grafit dirancang kanggo wafer support ing proses PECVD (plasma meningkat kimia uap deposition). SEMICERA nggunakake teknologi penet isostatik majeng kanggo mesthekake yen prau grafit nduweni resistance suhu dhuwur banget, resistance karat, stabilitas dimensi lan konduktivitas termal apik, kang consumable indispensable ing proses Manufaktur semikonduktor.

Perahu grafit PECVD isostatik SEMICERA nduweni kaluwihan ing ngisor iki:

▪ Kemurnian dhuwur: Materi grafit nduweni kemurnian dhuwur lan isi impurity kurang kanggo nyegah kontaminasi permukaan wafer.

▪ Kapadhetan dhuwur: Kapadhetan dhuwur, kekuatan mekanik sing dhuwur, bisa tahan suhu dhuwur lan lingkungan vakum sing dhuwur.

▪ Stabilitas dimensi apik: Owah-owahan dimensi cilik ing suhu dhuwur kanggo njamin stabilitas proses.

▪ Konduktivitas termal sing apik banget: Transfer panas kanthi efektif kanggo nyegah panas banget wafer.

▪ Ketahanan karat sing kuat: Bisa nahan erosi dening macem-macem gas korosif lan plasma.

Parameter kinerja	semicera	SGL R6510	Parameter kinerja
Kapadhetan akeh (g/cm3)	1.91	1.83	1.85
Kekuatan lentur (MPa)	63	60	49
Kekuatan tekan (MPa)	135	130	103
Kekerasan Pantai (HS)	70	64	60
Koefisien ekspansi termal (10-6/K)	85	105	130
Koefisien ekspansi termal (10-6/K)	5.85	4.2	5.0
Resistivitas (μΩm)	11-13	13	10

Keuntungan saka milih kita:
▪ Pilihan bahan: Bahan grafit kemurnian dhuwur digunakake kanggo njamin kualitas produk.
▪ Teknologi pangolahan: Pencet isostatik digunakake kanggo njamin kapadhetan lan keseragaman produk.
▪ Kustomisasi ukuran: Prau grafit saka macem-macem ukuran lan wujud bisa disesuaikan miturut kabutuhan pelanggan.
▪ Perawatan lumahing: Ana macem-macem cara perawatan permukaan, kayata lapisan silikon karbida, boron nitride, lan liya-liyane, kanggo nyukupi syarat proses sing beda.