Apa iku CVD SiC
Deposisi uap kimia (CVD) minangka proses deposisi vakum sing digunakake kanggo ngasilake bahan padhet kanthi kemurnian dhuwur. Proses iki asring digunakake ing lapangan manufaktur semikonduktor kanggo mbentuk film tipis ing permukaan wafer. Ing proses nyiapake SiC dening CVD, substrate kapapar siji utawa luwih prekursor molah malih, kang reaksi kimia ing lumahing substrat kanggo simpenan simpenan SiC dikarepake. Antarane akeh cara kanggo nyiapake bahan SiC, produk sing disiapake kanthi deposisi uap kimia nduweni keseragaman lan kemurnian sing dhuwur, lan cara kasebut nduweni kontrol proses sing kuwat.
Bahan CVD SiC cocok banget kanggo digunakake ing industri semikonduktor sing mbutuhake bahan berkinerja tinggi amarga kombinasi unik saka sifat termal, listrik lan kimia sing apik banget. Komponen CVD SiC akeh digunakake ing peralatan etsa, peralatan MOCVD, peralatan epitaxial Si lan peralatan epitaxial SiC, peralatan pangolahan termal kanthi cepet lan lapangan liyane.
Sakabèhé, bagean pasar komponen CVD SiC paling gedhe yaiku komponen peralatan etsa. Amarga reaktivitas lan konduktivitas sing kurang kanggo gas etsa sing ngemot klorin lan fluorine, karbida silikon CVD minangka bahan sing cocog kanggo komponen kayata cincin fokus ing peralatan etsa plasma.
Komponen karbida silikon CVD ing peralatan etching kalebu ring fokus, kepala padusan gas, nampan, ring pinggiran, etc.. Njupuk ring fokus minangka conto, ring fokus minangka komponen penting sing diselehake ing njaba wafer lan langsung kontak karo wafer. Kanthi ngetrapake voltase menyang dering kanggo fokus plasma sing ngliwati dering, plasma fokus ing wafer kanggo nambah keseragaman pangolahan.
Cincin fokus tradisional digawe saka silikon utawa kuarsa. Kanthi kemajuan miniaturisasi sirkuit terpadu, panjaluk lan pentinge proses etsa ing manufaktur sirkuit terpadu saya tambah, lan kekuwatan lan energi etsa plasma terus saya tambah. Utamane, energi plasma sing dibutuhake ing peralatan etsa plasma capacitively coupled (CCP) luwih dhuwur, saengga tingkat panggunaan cincin fokus sing digawe saka bahan silikon karbida saya tambah. Diagram skematis cincin fokus silikon karbida CVD ditampilake ing ngisor iki:
Wektu kirim: Jun-20-2024