Pisanan, sijine silikon polycrystalline lan dopants menyang crucible kuarsa ing tungku kristal siji, mundhakaken suhu kanggo luwih saka 1000 derajat, lan entuk silikon polycrystalline ing negara molten.
Wutah ingot silikon minangka proses nggawe silikon polikristalin dadi silikon kristal tunggal. Sawise silikon polycrystalline dipanasake dadi cairan, lingkungan termal dikontrol kanthi tepat kanggo tuwuh dadi kristal tunggal sing berkualitas.
Konsep sing gegandhengan:
Pertumbuhan kristal tunggal:Sawise suhu solusi silikon polycrystalline stabil, kristal wiji alon-alon diturunake menyang leleh silikon (kristal wiji uga bakal dilebur ing leleh silikon), banjur kristal wiji diangkat kanthi kecepatan tartamtu kanggo seeding. proses. Banjur, dislokasi sing diasilake sajrone proses seeding diilangi liwat operasi necking. Nalika gulu wis shrunk kanggo dawa cekap, diameteripun saka silikon kristal siji nggedhekake kanggo Nilai target kanthi nyetel kacepetan narik lan suhu, lan banjur diameteripun witjaksono maintained kanggo tuwuh kanggo dawa target. Pungkasan, kanggo nyegah dislokasi mundur, ingot kristal siji wis rampung kanggo entuk ingot kristal tunggal sing wis rampung, lan banjur dijupuk sawise suhu digawe adhem.
Metode kanggo nyiapake silikon kristal tunggal:metode CZ lan metode FZ. Metode CZ disingkat metode CZ. Karakteristik metode CZ yaiku diringkesake ing sistem termal silinder lurus, nggunakake pemanasan resistensi grafit kanggo nyawiji silikon polikristalin ing crucible kuarsa kemurnian dhuwur, lan banjur nglebokake kristal wiji menyang permukaan leleh kanggo welding, nalika puteran kristal wiji, banjur mbalikke crucible. Kristal wiji alon-alon diangkat munggah, lan sawise proses seeding, pembesaran, rotasi pundhak, pertumbuhan diameter sing padha, lan tailing, silikon kristal siji dijupuk.
Cara leleh zona yaiku cara nggunakake ingot polikristalin kanggo nyawiji lan ngkristal kristal semikonduktor ing macem-macem wilayah. Energi termal digunakake kanggo ngasilake zona leleh ing salah siji ujung rod semikonduktor, banjur kristal wiji kristal siji dilas. Suhu disetel kanggo nggawe zona leleh alon-alon pindhah menyang ujung liyane rod, lan liwat kabeh rod, kristal siji thukul, lan orientasi kristal padha karo kristal wiji. Metode leleh zona dipérang dadi rong jinis: metode leleh zona horisontal lan metode leleh zona suspensi vertikal. Mantan utamane digunakake kanggo pemurnian lan pertumbuhan kristal siji bahan kayata germanium lan GaAs. Sing terakhir yaiku nggunakake koil frekuensi dhuwur ing atmosfer utawa tungku vakum kanggo ngasilake zona molten ing kontak antarane kristal wiji kristal tunggal lan rod silikon polikristalin sing digantung ing ndhuwur, banjur pindhah zona molten munggah kanggo tuwuh siji. kristal.
Kira-kira 85% wafer silikon diprodhuksi kanthi metode Czochralski, lan 15% wafer silikon diprodhuksi kanthi metode leleh zona. Miturut aplikasi kasebut, silikon kristal tunggal sing ditanam kanthi metode Czochralski utamane digunakake kanggo ngasilake komponen sirkuit terpadu, dene silikon kristal tunggal sing ditanam kanthi metode leleh zona utamane digunakake kanggo semikonduktor daya. Cara Czochralski nduweni proses diwasa lan luwih gampang tuwuh silikon kristal tunggal diameter gedhe; cara leleh zona nyawiji ora kontak wadhah, ora gampang kanggo ono racune, wis kemurnian luwih, lan cocok kanggo produksi piranti elektronik daya dhuwur, nanging luwih angel kanggo tuwuh gedhe-diameteripun siji kristal silikon, lan umume mung digunakake kanggo diameteripun 8 inci utawa kurang. Video kasebut nuduhake metode Czochralski.
Amarga kangelan ing Ngontrol diameteripun rod silikon kristal siji ing proses narik kristal siji, supaya diwenehi rod silikon diameteripun standar, kayata 6 inci, 8 inci, 12 inci, etc. Sawise narik siji. kristal, diameteripun ingot silikon bakal mbalek lan lemah. Lumahing rod silikon sawise digulung lancar lan kesalahan ukuran luwih cilik.
Nggunakake teknologi nglereni kabel canggih, ingot kristal siji dipotong dadi wafer silikon kanthi ketebalan sing cocog liwat peralatan ngiris.
Amarga kekandelan cilik wafer silikon, pinggiran wafer silikon sawise nglereni cetha banget. Tujuan saka grinding pinggiran kanggo mbentuk pinggiran Gamelan lan iku ora gampang kanggo break ing Manufaktur chip mangsa.
LAPPING kanggo nambah wafer antarane piring pilihan abot lan piring kristal ngisor, lan aplikasi meksa lan muter karo abrasive kanggo nggawe wafer warata.
Etching minangka proses kanggo mbusak karusakan permukaan wafer, lan lapisan permukaan sing rusak amarga proses fisik dibubarake kanthi solusi kimia.
Penggilingan sisi ganda minangka proses kanggo nggawe wafer luwih rata lan mbusak protrusi cilik ing permukaan.
RTP minangka proses pemanasan wafer kanthi cepet sajrone sawetara detik, supaya cacat internal wafer seragam, impurities logam ditindhes, lan operasi semikonduktor sing ora normal bisa dicegah.
Polishing minangka proses sing njamin kelancaran permukaan liwat mesin presisi permukaan. Panggunaan slurry polishing lan kain polishing, digabungake karo suhu cocok, meksa lan kacepetan rotasi, bisa ngilangke lapisan karusakan mechanical kiwa dening proses sadurungé lan njupuk wafer silikon karo flatness lumahing banget.
Tujuan reresik yaiku mbusak bahan organik, partikel, logam, lan liya-liyane sing isih ana ing permukaan wafer silikon sawise dipoles, supaya bisa njamin kebersihan permukaan wafer silikon lan nyukupi syarat kualitas proses sabanjure.
Tester flatness & resistivity ndeteksi wafer silikon sawise polishing lan reresik kanggo mesthekake yen kekandelan, flatness, flatness lokal, kelengkungan, warpage, resistivity, etc saka wafer silikon polesan ketemu kabutuhan customer.
PARTICLE COUNTING proses kanggo sabenere inspecting lumahing wafer, lan cacat lumahing lan jumlahe ditemtokake dening scattering laser.
EPI GROWING minangka proses ngembangake film kristal tunggal silikon berkualitas tinggi ing wafer silikon sing dipoles kanthi deposisi kimia fase uap.
Konsep sing gegandhengan:Wutah epitaxial: nuduhake pertumbuhan lapisan kristal siji kanthi syarat tartamtu lan orientasi kristal sing padha karo substrat ing substrat kristal tunggal (substrat), kaya kristal asli sing ndawakake metu kanggo bagean. Teknologi pertumbuhan epitaxial dikembangake ing pungkasan taun 1950-an lan awal taun 1960-an. Ing wektu iku, kanggo nggawe piranti frekuensi dhuwur lan daya dhuwur, iku perlu kanggo ngurangi resistance seri Penagih, lan materi dibutuhake kanggo tahan voltase dhuwur lan saiki dhuwur, supaya iku perlu kanggo tuwuh lancip dhuwur- lapisan epitaxial resistance ing substrat tahan kurang. Lapisan kristal tunggal anyar sing ditanam kanthi epitaxial bisa beda karo substrat ing babagan jinis konduktivitas, resistivity, lan liya-liyane, lan kristal tunggal multi-lapisan kanthi ketebalan lan syarat sing beda-beda uga bisa ditanam, saengga bisa ningkatake keluwesan desain piranti lan kinerja piranti.
Packaging minangka kemasan produk pungkasan sing berkualitas.
Wektu kirim: Nov-05-2024