Film tipis sing digunakake ing manufaktur semikonduktor kabeh duwe resistensi, lan resistensi film duwe pengaruh langsung marang kinerja piranti kasebut. Kita biasane ora ngukur resistance mutlak film, nanging nggunakake resistance sheet kanggo ciri.
Apa resistance sheet lan resistivity volume?
Resistivitas volume, uga dikenal minangka resistivitas volume, minangka sifat inheren saka materi sing nggambarake carane materi ngalangi aliran arus listrik. Simbol ρ sing umum digunakake, unit kasebut yaiku Ω.
Resistance sheet, uga dikenal minangka resistance sheet, jeneng Inggris yaiku resistance sheet, sing nuduhake nilai resistance film saben unit area. Simbol sing umum digunakake Rs utawa ρs kanggo nyatakake, unit kasebut yaiku Ω/sq utawa Ω/□
Hubungan antarane loro kasebut yaiku: resistensi lembar = resistivity volume / ketebalan film, yaiku, Rs = ρ / t
Napa ngukur resistance sheet?
Ngukur resistensi mutlak film mbutuhake kawruh sing tepat babagan dimensi geometris film (dawa, jembar, kekandelan), sing nduweni akeh variabel lan kompleks banget kanggo film sing tipis banget utawa bentuke ora teratur. Resistance sheet mung ana gandhengane karo kekandelan film lan bisa diuji kanthi cepet lan langsung tanpa petungan ukuran sing rumit.
Film apa sing kudu ngukur resistensi lembaran?
Umume, film konduktif lan film semikonduktor kudu diukur kanggo resistensi persegi, dene film insulasi ora perlu diukur.
Ing doping semikonduktor, resistance sheet saka silikon uga diukur.
Carane ngukur resistance kothak?
Cara papat probe umume digunakake ing industri. Cara papat-probe bisa ngukur resistance kothak kiro-kiro saka 1E-3 kanggo 1E+9Ω/sq. Cara papat-probe bisa ngindhari kesalahan pangukuran amarga resistensi kontak antarane probe lan sampel.
Metode pangukuran:
1) Setel papat probe sing disusun kanthi linear ing permukaan sampel.
2) Aplikasi arus konstan antarane loro probe njaba.
3) Nemtokake resistance kanthi ngukur beda potensial antarane loro probe internal
RS : tahan lembaran
ΔV: Owah-owahan ing voltase diukur antarane probe internal
I: Saiki ditrapake ing antarane probe njaba
Posting wektu: Mar-29-2024