wafer silikon karbidadigawe saka bubuk silikon kemurnian dhuwur lan bubuk karbon kemurnian dhuwur minangka bahan mentah, lan kristal silikon karbida ditanam kanthi metode transfer uap fisik (PVT), lan diproses dadiwafer silikon karbida.
① Sintesis bahan baku. Wêdakakêna silikon kemurnian dhuwur lan bubuk karbon kemurnian dhuwur dicampur miturut rasio tartamtu, lan partikel karbida silikon disintesis ing suhu dhuwur ing ndhuwur 2,000 ℃. Sawise ngremukake, ngresiki lan proses liyane, bahan baku bubuk silikon karbida kemurnian dhuwur sing nyukupi syarat pertumbuhan kristal disiapake.
② wutah kristal. Nggunakake bubuk SIC kemurnian dhuwur minangka bahan mentah, kristal kasebut ditanam kanthi metode transfer uap fisik (PVT) nggunakake tungku pertumbuhan kristal sing dikembangake dhewe.
③ pangolahan ingot. Ingot kristal silikon karbida sing dipikolehi diorientasi dening orientator kristal tunggal sinar-X, banjur digiling lan digulung, lan diolah dadi kristal silikon karbida diameter standar.
④ nglereni kristal. Nggunakake peralatan pemotong multi-line, kristal karbida silikon dipotong dadi lembaran tipis kanthi kekandelan ora luwih saka 1mm.
⑤ Chip grinding. Wafer digiling nganti rata lan kasar sing dikarepake kanthi cairan mecah berlian kanthi ukuran partikel sing beda-beda.
⑥ chip polishing. Karbida silikon sing dipoles tanpa karusakan permukaan dipikolehi kanthi polishing mekanik lan polishing mekanik kimia.
⑦ Deteksi chip. Gunakake mikroskop optik, X-ray diffractometer, mikroskop gaya atom, non-kontak resistivitas tester, lumahing flatness tester, lumahing cacat tester lengkap lan instruments lan peralatan liyane kanggo ndeteksi Kapadhetan microtubule, kualitas kristal, roughness lumahing, resistivity, warpage, kelengkungan, owah-owahan kekandelan, ngeruk lumahing lan paramèter liyane wafer silikon karbida. Miturut iki, tingkat kualitas chip ditemtokake.
⑧ Reresik chip. Lembar polishing karbida silikon diresiki nganggo agen pembersih lan banyu murni kanggo mbusak sisa-sisa cairan polishing lan rereget lumahing liyane ing lembaran polishing, banjur wafer diunekake lan digoyang garing kanthi nitrogen kemurnian ultra-dhuwur lan mesin pangatusan; Wafer iki encapsulated ing kothak sheet resik ing kamar super-resik kanggo mbentuk hilir siap-kanggo-nggunakake wafer silikon karbida.
Sing luwih gedhe ukuran chip, sing luwih angel wutah kristal cocog lan teknologi Processing, lan sing luwih efficiency Manufaktur piranti hilir, murah biaya unit.
Wektu kirim: Nov-24-2023