Semicera nyedhiyakake lapisan tantalum carbide (TaC) khusus kanggo macem-macem komponen lan operator.Proses lapisan semicera sing unggul ngidini lapisan tantalum karbida (TaC) entuk kemurnian dhuwur, stabilitas suhu dhuwur lan toleransi kimia sing dhuwur, ningkatake kualitas produk kristal SIC / GAN lan lapisan EPI (Susceptor TaC dilapisi grafit), lan ndawakake umur komponen reaktor utama. Panggunaan lapisan tantalum carbide TaC kanggo ngatasi masalah pinggiran lan ningkatake kualitas pertumbuhan kristal, lan Semicera wis terobosan ngrampungake teknologi lapisan tantalum karbida (CVD), tekan tingkat lanjutan internasional.
Kanthi tekane wafer silikon karbida (SiC) 8-inci, syarat kanggo macem-macem proses semikonduktor saya tambah ketat, utamane kanggo proses epitaksi sing suhu bisa ngluwihi 2000 derajat Celsius. Bahan susceptor tradisional, kayata grafit sing dilapisi silikon karbida, cenderung sublimasi ing suhu dhuwur iki, ngganggu proses epitaksi. Nanging, CVD tantalum carbide (TaC) kanthi efektif ngatasi masalah iki, tahan suhu nganti 2300 derajat Celsius lan menehi umur layanan sing luwih dawa. Kontak Semicera's TaC coating susceptorkanggo njelajah luwih lengkap babagan solusi canggih kita.
Sawise taun pembangunan, Semicera wis nelukake teknologi sakaCVD TaCkaro efforts bebarengan saka departemen R & D. Cacat gampang kedadeyan ing proses pertumbuhan wafer SiC, nanging sawise nggunakakeTaC, prabédan punika wujud. Ing ngisor iki perbandingan wafer kanthi lan tanpa TaC, uga bagean Simicera kanggo pertumbuhan kristal tunggal.
karo lan tanpa TaC
Sawise nggunakake TaC (tengen)
Kajaba iku, Semiceraproduk TaC-dilapisinuduhake urip layanan maneh lan resistance suhu dhuwur luwih dibandhingake karolapisan SiC.Pangukuran laboratorium wis nuduhake manawa kitalapisan TaCbisa terus-terusan nindakake ing suhu nganti 2300 derajat Celsius kanggo wektu lengkap. Ing ngisor iki sawetara conto conto kita:
