Semiceraseneng nawakakeKaset PFA, pilihan premium kanggo nangani wafer ing lingkungan sing tahan kimia lan daya tahan sing paling penting. Digawe saka bahan Perfluoroalkoxy (PFA) kemurnian dhuwur, kaset iki dirancang kanggo nahan kahanan sing paling nuntut ing fabrikasi semikonduktor, njamin keamanan lan integritas wafer sampeyan.
Ketahanan Kimia sing Ora DitandingiIngKaset PFAdirekayasa kanggo menehi resistance unggul kanggo sawetara saka sudhut bahan kimia, dadi pilihan sampurna kanggo pangolahan sing melu asam agresif, pelarut, lan bahan kimia atos liyane. Ketahanan kimia sing kuat iki njamin kaset tetep utuh lan fungsional sanajan ing lingkungan sing paling korosif, saengga bisa nambah umur lan nyuda kabutuhan gantian sing asring.
Konstruksi High-KemurnianSemicera kangKaset PFAdiprodhuksi saka materi PFA Ultra-murni, kang kritis kanggo nyegah kontaminasi sak Processing wafer. Konstruksi kemurnian dhuwur iki nyilikake risiko generasi partikel lan leaching kimia, mesthekake yen wafer sampeyan dilindhungi saka impurities sing bisa kompromi kualitas.
Peningkatan Daya Tahan lan KinerjaDirancang kanggo kekiatan, ingKaset PFAnjaga integritas struktural ing suhu sing ekstrem lan kahanan pangolahan sing ketat. Apa kapapar suhu dhuwur utawa tundhuk nangani bola-bali, kaset iki nahan wangun lan kinerja, nawakake linuwih long-term ing lingkungan Manufaktur nuntut.
Precision Engineering kanggo Penanganan AmanIngKaset PFA Semicerafitur engineering tepat sing njamin aman lan stabil penanganan wafer. Saben slot dirancang kanthi teliti kanggo nahan wafer kanthi aman, nyegah gerakan utawa owah-owahan sing bisa nyebabake karusakan. Teknik presisi iki ndhukung penempatan wafer sing konsisten lan akurat, nyumbang kanggo efisiensi proses sakabèhé.
Aplikasi Versatile Ing ProsesThanks kanggo sifat materi sing unggul, ingKaset PFAcukup serbaguna kanggo digunakake ing macem-macem tahapan fabrikasi semikonduktor. Iki cocog banget kanggo etsa udan, deposisi uap kimia (CVD), lan proses liyane sing nglibatake lingkungan kimia sing atos. Kemampuan adaptasi ndadekake alat penting kanggo njaga integritas proses lan kualitas wafer.
Komitmen kanggo Kualitas lan InovasiIng Semicera, kita setya nyedhiyakake produk sing cocog karo standar industri sing paling dhuwur. IngKaset PFAcontone prasetya iki, nawakake solusi dipercaya sing nggabungake seamlessly menyang proses manufaktur Panjenengan. Saben kaset ngalami kontrol kualitas sing ketat kanggo mesthekake yen memenuhi kritéria kinerja sing ketat, nyedhiyakake keunggulan sing dikarepake saka Semicera.
| barang | Produksi | Riset | goblok |
| Parameter Kristal | |||
| Politipe | 4H | ||
| Kesalahan orientasi lumahing | <11-20 >4±0.15° | ||
| Parameter Listrik | |||
| Dopan | Nitrogen tipe n | ||
| Resistivity | 0,015-0,025 ohm · cm | ||
| Parameter Mekanik | |||
| Dhiameter | 150,0 ± 0,2 mm | ||
| kekandelan | 350±25 μm | ||
| Orientasi flat utama | [1-100]±5° | ||
| Dawane warata utami | 47,5 ± 1,5 mm | ||
| Flat sekunder | ora ana | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm * 5mm) | ≤5 μm (5mm * 5mm) | ≤10 μm (5mm * 5mm) |
| gandhewo | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Kekasaran ngarep (Si-face) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Struktur | |||
| Kapadhetan micropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Kotoran logam | ≤5E10atom/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Kualitas ngarep | |||
| Ngarep | Si | ||
| Rampung lumahing | Si-face CMP | ||
| partikel | ≤60ea/wafer (ukuran≥0.3μm) | NA | |
| Goresan | ≤5ea/mm. Dawane kumulatif ≤Diameter | Kumulatif dawa≤2 * Diameter | NA |
| Kulit jeruk / pit / noda / striations / retak / kontaminasi | ora ana | NA | |
| Pinggir chip / indents / fraktur / piring hex | ora ana | ||
| Wilayah politipe | ora ana | Area kumulatif≤20% | Area kumulatif≤30% |
| Tandha laser ngarep | ora ana | ||
| Kualitas mburi | |||
| Rampung mburi | C-pasuryan CMP | ||
| Goresan | ≤5ea/mm, Kumulatif length≤2 * Diameter | NA | |
| Cacat mburi (keripik pinggir / indentasi) | ora ana | ||
| Kekasaran mburi | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Tandha laser mburi | 1 mm (saka pinggir ndhuwur) | ||
| Pinggir | |||
| Pinggir | Chamfer | ||
| Kemasan | |||
| Kemasan | Epi-siap karo kemasan vakum Kemasan kaset multi-wafer | ||
| * Cathetan: "NA" tegese ora ana panjaluk. | |||
