RTPCVD SiC ringsdigunakake ing lapangan industri lan ilmiah ing suhu dhuwur lan lingkungan korosif. Iki nduweni peran penting ing manufaktur semikonduktor, optoelektronik, mesin presisi lan industri kimia. Aplikasi khusus kalebu:
1. Produksi semikonduktor:RTP CVD SiC ringsbisa digunakake kanggo pemanasan lan pendinginan peralatan semikonduktor, nyedhiyakake kontrol suhu sing stabil lan njamin akurasi lan konsistensi proses kasebut.
2. Optoelektronik: Amarga konduktivitas termal sing apik lan tahan suhu dhuwur, RTPCVD SiC ringsbisa digunakake minangka dhukungan lan bahan boros panas kanggo laser, peralatan komunikasi serat optik lan komponen optik.
3. Mesin presisi: Dering RTP CVD SiC bisa digunakake kanggo instrumen lan peralatan presisi ing suhu dhuwur lan lingkungan korosif, kayata tungku suhu dhuwur, piranti vakum lan reaktor kimia.
4. Industri kimia: Amarga resistensi karat lan stabilitas kimia, dering RTP CVD SiC bisa digunakake ing wadhah, pipa lan reaktor ing reaksi kimia lan proses katalitik.
Sistem Epi
Sistem RTP
Sistem CVD
Kinerja produk:
1. Ketemu proses ngisor 28nm
2. resistance karat Super
3. kinerja Super resik
4. Super atose
5. Kapadhetan dhuwur
6. Resistance suhu dhuwur
7. Nyandhang resistance
Aplikasi produk:
Bahan silikon karbida nduweni karakteristik kekerasan dhuwur, tahan nyandhang, tahan karat lan stabilitas suhu dhuwur. Produk kanthi kinerja lengkap banget digunakake ing etsa garing lan proses TF / Difusi.
Kinerja produk:
1. Ketemu proses ngisor 28nm
2. resistance karat Super
3. kinerja Super resik
4. Super atose
5. Kapadhetan dhuwur
6. Resistance suhu dhuwur
7. Nyandhang resistance
Pangembangan proses komposit:
• Graphite + SiC Coating
• Solide CVD SiC
• Sintered SiC+CVD
• SicSintered SiC
Pangembangan macem-macem jinis produk:
• Ring
• Tabel
• Susceptor
• Pancuran Kepala