Semiceraintroduce ingKaset Semikonduktor, alat penting kanggo nangani wafer sing aman lan efisien sajrone proses manufaktur semikonduktor. Dirancang kanthi presisi sing dhuwur, kaset iki njamin manawa wafer sampeyan disimpen lan diangkut kanthi aman, njaga integritas ing saben tahapan.
Proteksi Superior lan KekiatanIngKaset Semikonduktorsaka Semicera dibangun kanggo kurban pangayoman maksimum kanggo wafer Panjenengan. Dibangun saka bahan sing kuat lan tahan kontaminasi, iki nglindhungi wafer saka karusakan lan kontaminasi potensial, dadi pilihan sing cocog kanggo lingkungan kamar resik. Desain kaset nyilikake produksi partikel lan njamin wafer tetep ora kena lan aman sajrone penanganan lan transportasi.
Desain Meningkat kanggo Kinerja OptimalSemicera kangKaset Semikonduktorfitur desain tliti direkayasa sing nyedhiyani wafer alignment pas, ngurangi risiko misalignment lan karusakan mechanical. Slot kaset kanthi jarak sing tepat kanggo nahan saben wafer kanthi aman, nyegah gerakan sing bisa nyebabake goresan utawa cacat liyane.
Versatility lan KompatibilitasIngKaset SemikonduktorVersatile lan kompatibel karo macem-macem ukuran wafer, nggawe cocok kanggo macem-macem orane tumrap sekolah saka fabrikasi semikonduktor. Apa sampeyan nggarap ukuran wafer standar utawa khusus, kaset iki cocog karo kabutuhan sampeyan, menehi keluwesan ing proses manufaktur sampeyan.
Streamlined Penanganan lan EfisiensiDirancang karo pangguna ing atine, ingKaset Semikonduktor Semiceraiku entheng lan gampang kanggo nangani, ngidini kanggo mbukak lan unloading cepet lan efisien. Desain ergonomis iki ora mung ngirit wektu nanging uga nyuda risiko kesalahan manungsa, njamin operasi lancar ing fasilitas sampeyan.
Memenuhi Standar IndustriSemicera njamin singKaset Semikonduktorketemu standar industri paling dhuwur kanggo kualitas lan linuwih. Saben kaset ngalami tes sing ketat kanggo njamin kinerja kanthi konsisten ing kahanan manufaktur semikonduktor sing nuntut. Iki pengabdian kanggo kualitas njamin wafer sampeyan tansah dilindhungi, njaga standar dhuwur sing dibutuhake ing industri.
| barang | Produksi | Riset | goblok |
| Parameter Kristal | |||
| Politipe | 4H | ||
| Kesalahan orientasi lumahing | <11-20 >4±0.15° | ||
| Parameter Listrik | |||
| Dopan | Nitrogen tipe n | ||
| Resistivity | 0,015-0,025 ohm · cm | ||
| Parameter Mekanik | |||
| Dhiameter | 150,0 ± 0,2 mm | ||
| kekandelan | 350±25 μm | ||
| Orientasi flat utama | [1-100]±5° | ||
| Dawane warata utami | 47,5 ± 1,5 mm | ||
| Flat sekunder | ora ana | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm * 5mm) | ≤5 μm (5mm * 5mm) | ≤10 μm (5mm * 5mm) |
| gandhewo | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Kekasaran ngarep (Si-face) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Struktur | |||
| Kapadhetan micropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Kotoran logam | ≤5E10atom/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Kualitas ngarep | |||
| Ngarep | Si | ||
| Rampung lumahing | Si-face CMP | ||
| partikel | ≤60ea/wafer (ukuran≥0.3μm) | NA | |
| Goresan | ≤5ea/mm. Dawane kumulatif ≤Diameter | Kumulatif dawa≤2 * Diameter | NA |
| Kulit jeruk / pit / noda / striations / retak / kontaminasi | ora ana | NA | |
| Pinggir chip / indents / fraktur / piring hex | ora ana | ||
| Wilayah politipe | ora ana | Area kumulatif≤20% | Area kumulatif≤30% |
| Tandha laser ngarep | ora ana | ||
| Kualitas mburi | |||
| Rampung mburi | C-pasuryan CMP | ||
| Goresan | ≤5ea/mm, Kumulatif length≤2 * Diameter | NA | |
| Cacat mburi (keripik pinggir / indentasi) | ora ana | ||
| Kekasaran mburi | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Tandha laser mburi | 1 mm (saka pinggir ndhuwur) | ||
| Pinggir | |||
| Pinggir | Chamfer | ||
| Kemasan | |||
| Kemasan | Epi-siap karo kemasan vakum Kemasan kaset multi-wafer | ||
| * Cathetan: "NA" tegese ora ana panjaluk. | |||
