Katrangan
Susceptor grafit sing dilapisi SiC Semicera direkayasa nggunakake substrat grafit berkualitas tinggi, sing dilapisi kanthi tliti karo Silicon Carbide (SiC) liwat proses Deposisi Uap Kimia (CVD) sing canggih. Desain inovatif iki njamin resistensi luar biasa kanggo kejut termal lan degradasi kimia, kanthi signifikan ngluwihi umur susceptor grafit sing dilapisi SiC lan njamin kinerja sing dipercaya sajrone proses manufaktur semikonduktor.
Fitur Utama:
1. Konduktivitas Termal UnggulSusceptor grafit sing dilapisi SiC nuduhake konduktivitas termal sing luar biasa, sing penting kanggo panyiraman panas sing efisien sajrone manufaktur semikonduktor. Fitur iki nyuda gradien termal ing permukaan wafer, promosi distribusi suhu seragam sing penting kanggo entuk sifat semikonduktor sing dikarepake.
2. Tahan Kejut Kimia lan Termal sing KuatLapisan SiC nyedhiyakake perlindungan sing kuat marang karat kimia lan kejut termal, njaga integritas susceptor grafit sanajan ing lingkungan pangolahan sing atos. Daya tahan sing ditingkatake iki nyuda downtime lan ndawakake umur, nyumbang kanggo nambah produktivitas lan efisiensi biaya ing fasilitas manufaktur semikonduktor.
3. Kustomisasi kanggo Kabutuhan KhususSusceptor grafit sing dilapisi SiC bisa disesuaikan kanggo nyukupi syarat lan pilihan tartamtu. We offer sawetara opsi pangaturan dhewe, kalebu pangaturan ukuran lan variasi ing kekandelan lapisan, kanggo mesthekake keluwesan desain lan kinerja optimized kanggo aplikasi beda lan paramèter proses.
Aplikasi:
Aplikasi Lapisan Semicera SiC digunakake ing macem-macem tahapan manufaktur semikonduktor, kalebu:
1. -Fabrikasi Chip LED
2. -Polysilicon Produksi
3. - Wutah Crystal Semikonduktor
4. -Silikon lan SiC Epitaxy
5. - Oksidasi lan Difusi Termal (TO&D)
Spesifikasi Teknis:
