Silicon-Impregnated Silicon Carbide (SiC) Paddle lan Wafer Carrier

Katrangan singkat:

Silicon-Impregnated Silicon Carbide (SiC) Paddle and Wafer Carrier minangka bahan komposit kinerja dhuwur sing dibentuk kanthi nyusup silikon menyang matriks karbida silikon sing direkristalisasi lan ngalami perawatan khusus. Materi iki nggabungake kekuatan dhuwur lan toleransi suhu dhuwur saka karbida silikon recrystallized kanthi kinerja infiltrasi silikon sing luwih apik, lan nampilake kinerja sing apik banget ing kahanan sing ekstrem. Iki digunakake kanthi wiyar ing bidang perawatan panas semikonduktor, utamane ing lingkungan sing mbutuhake suhu dhuwur, tekanan dhuwur lan resistensi nyandhang dhuwur, lan minangka bahan sing cocog kanggo manufaktur bagean perawatan panas ing proses produksi semikonduktor.

 

 


Detail Produk

Tag produk

Ringkesan produk

IngSilicon-Impregnated Silicon Carbide (SiC) Paddle lan Wafer Carrierdirancang kanggo nyukupi kabutuhan aplikasi pangolahan termal semikonduktor. Digawe saka SiC kemurnian dhuwur lan ditingkatake liwat impregnasi silikon, produk iki nawakake kombinasi unik kinerja suhu dhuwur, konduktivitas termal sing apik, tahan korosi, lan kekuatan mekanik sing luar biasa.

Kanthi nggabungake ilmu material canggih karo manufaktur presisi, solusi iki njamin kinerja sing unggul, linuwih, lan daya tahan kanggo manufaktur semikonduktor.

Fitur Utama

1.Resistensi Suhu Dhuwur sing luar biasa

Kanthi titik lebur ngluwihi 2700 ° C, bahan SiC pancen stabil nalika panas banget. Impregnasi silikon luwih nambah stabilitas termal, saéngga bisa tahan cahya sing berpanjangan ing suhu dhuwur tanpa kelemahan struktural utawa degradasi kinerja.

2.Konduktivitas termal unggul

Konduktivitas termal sing luar biasa saka SiC sing diresapi silikon njamin distribusi panas sing seragam, nyuda stres termal sajrone tahap pangolahan kritis. Properti iki ndawakake umur peralatan lan nyuda downtime produksi, saengga cocog kanggo pangolahan termal suhu dhuwur.

3.Oksidasi lan Tahan Korosi

Lapisan silikon oksida sing kuwat dibentuk kanthi alami ing permukaan, nyedhiyakake resistensi sing luar biasa kanggo oksidasi lan karat. Iki njamin linuwih jangka panjang ing lingkungan operasi sing atos, nglindhungi materi lan komponen ing saubengé.

4.Kekuwatan Mekanik Dhuwur lan Ketahanan Wear

Silicon-impregnated SiC fitur kekuatan compressive banget lan nyandhang resistance, njaga integritas struktural ing dhuwur-munggah, kahanan suhu dhuwur. Iki nyuda risiko karusakan sing gegandhengan karo nyandhang, njamin kinerja sing konsisten sajrone siklus panggunaan sing luwih dawa.

Spesifikasi

Jeneng produk

SC-RSiC-Si

Bahan

Silicon Impregnation Silicon Carbide Compact (kemurnian dhuwur)

Aplikasi

Bagean Perawatan Panas Semikonduktor, Bagean Peralatan Pabrikan Semikonduktor

wangun pangiriman

Body molded (badan sintered)

Komposisi Properti Mekanik Modulus Muda (GPa)

Kekuwatan Mlengkung

(MPa)

Komposisi (vol%) α-SiC α-SiC RT 370 250
82 18 800°C 360 220
Kapadhetan Bulk (kg/m³) 3.02 x 103 1200°C 340 220
Suhu Tahan Panas°C 1350 Rasio Poisson 0.18 (RT)
Properti termal

Konduktivitas termal

(W/(m· K))

Kapasitas Panas Spesifik

(kJ/(kg·K))

Koefisien Ekspansi Termal

(1/K)

RT 220 0.7 RT~700°C 3,4 x 10-6
700°C 60 1.23 700~1200°C 4.3x10-6

 

Konten pengotor ((ppm)

unsur

Fe Ni Na K Mg Ca Cr

Mn

Zn Cu Ti Va Ai
Tingkat Konten 3 <2 <0.5 <0.1 <1 5 0.3 <0.1 <0.1 <0.1 <0.3 <0.3 25

Aplikasi

Pengolahan Termal Semikonduktor:Cocog kanggo pangolahan kayata deposisi uap kimia (CVD), pertumbuhan epitaxial, lan anil, ing ngendi kontrol suhu sing tepat lan daya tahan materi kritis.

   Wafer Carriers & Paddles:Dirancang kanggo nahan lan ngeterake wafer kanthi aman sajrone perawatan termal suhu dhuwur.

   Lingkungan Operasi Ekstrim: Cocog kanggo setelan sing mbutuhake tahan panas, paparan kimia, lan stres mekanik.

 

Kaluwihan saka Silicon-Impregnated SiC

Kombinasi karbida silikon kemurnian dhuwur lan teknologi impregnasi silikon majeng menehi keuntungan kinerja sing ora ana tandhingane:

       Precision:Ningkatake akurasi lan kontrol pangolahan semikonduktor.

       Stabilitas:Tahan lingkungan sing atos tanpa ngrusak fungsi.

       umur dawa:Ngluwihi umur layanan peralatan manufaktur semikonduktor.

       Efisiensi:Ningkatake produktivitas kanthi njamin asil sing dipercaya lan konsisten.

 

Napa Pilih Solusi SiC sing Diresapi Silikon Kita?

At Semicera, kita spesialis nyedhiyakake solusi kinerja dhuwur sing cocog karo kabutuhan manufaktur semikonduktor. Silicon-Impregnated Silicon Carbide Paddle lan Wafer Carrier kita ngalami tes sing ketat lan jaminan kualitas kanggo nyukupi standar industri. Kanthi milih Semicera, sampeyan entuk akses menyang bahan mutakhir sing dirancang kanggo ngoptimalake proses manufaktur lan nambah kemampuan produksi.

 

Spesifikasi Teknis

      Komposisi Bahan:Karbida silikon kemurnian dhuwur kanthi impregnasi silikon.

   Kisaran Suhu Operasi:Nganti 2700 ° C.

   Konduktivitas termal:Dhuwur banget kanggo distribusi panas seragam.

Properti Resistance:Oksidasi, karat, lan tahan nyandhang.

      Aplikasi:Kompatibel karo macem-macem sistem pangolahan termal semikonduktor.

 

Panggonan Kerja Semicera
Panggonan kerja Semicera 2
Mesin peralatan
Pengolahan CNN, reresik kimia, lapisan CVD
Semicera Ware House
layanan kita

Hubungi Kita

Siap ngunggahake proses manufaktur semikonduktor sampeyan? KontakSemiceradina iki kanggo mangerteni sing luwih lengkap babagan Silicon-Impregnated Silicon Carbide Paddle lan Wafer Carrier.

      Email: sales01@semi-cera.com/sales05@semi-cera.com

      Telpon: +86-0574-8650 3783

   lokasi:No.1958 Jiangnan Road, Ningbo High tech, Zone, Provinsi Zhejiang, 315201, China


  • Sadurunge:
  • Sabanjure: