Pembawa wafer epitaxial sing dilapisi TaCbiasane digunakake kanggo nyiapake piranti optoelektronik kanthi kinerja dhuwur, piranti daya, sensor lan lapangan liyane. Ikipembawa wafer epitaxialnuduhake Deposition sakaTaCfilm lancip ing landasan sak proses wutah kristal kanggo mbentuk wafer karo struktur tartamtu lan kinerja kanggo preparation piranti sakteruse.
Teknologi deposisi uap kimia (CVD) biasane digunakake kanggo nyiapakePembawa wafer epitaxial sing dilapisi TaC. Kanthi reaksi prekursor organik logam lan gas sumber karbon ing suhu dhuwur, film TaC bisa disimpen ing permukaan substrat kristal. Film iki bisa nduweni sifat listrik, optik lan mekanik sing apik banget lan cocok kanggo nyiapake macem-macem piranti kanthi kinerja dhuwur.
Semicera nyedhiyakake lapisan tantalum carbide (TaC) khusus kanggo macem-macem komponen lan operator.Proses lapisan semicera sing unggul ngidini lapisan tantalum karbida (TaC) entuk kemurnian dhuwur, stabilitas suhu dhuwur lan toleransi kimia sing dhuwur, ningkatake kualitas produk kristal SIC / GAN lan lapisan EPI (Susceptor TaC dilapisi grafit), lan ndawakake umur komponen reaktor utama. Panggunaan lapisan tantalum carbide TaC kanggo ngatasi masalah pinggiran lan ningkatake kualitas pertumbuhan kristal, lan Semicera wis terobosan ngrampungake teknologi lapisan tantalum karbida (CVD), tekan tingkat lanjutan internasional.
Sawise taun pembangunan, Semicera wis nelukake teknologi sakaCVD TaCkaro efforts bebarengan saka departemen R & D. Cacat gampang kedadeyan ing proses pertumbuhan wafer SiC, nanging sawise nggunakakeTaC, prabédan punika wujud. Ing ngisor iki perbandingan wafer kanthi lan tanpa TaC, uga bagean Simicera kanggo pertumbuhan kristal tunggal.
karo lan tanpa TaC
Sawise nggunakake TaC (tengen)
Kajaba iku, Semiceraproduk TaC-dilapisinuduhake urip layanan maneh lan resistance suhu dhuwur luwih dibandhingake karolapisan SiC.Pangukuran laboratorium wis nuduhake manawa kitalapisan TaCbisa terus-terusan nindakake ing suhu nganti 2300 derajat Celsius kanggo wektu lengkap. Ing ngisor iki sawetara conto conto kita: