lapisan TaCminangka lapisan materi penting, sing biasane disiapake ing basis grafit kanthi teknologi deposisi uap kimia organik logam (MOCVD). Lapisan iki nduweni sifat sing apik banget, kayata kekerasan dhuwur, resistensi nyandhang banget, tahan suhu dhuwur lan stabilitas kimia, lan cocok kanggo macem-macem aplikasi teknik sing dikarepake.
Teknologi MOCVD minangka teknologi pertumbuhan film tipis sing umum digunakake sing nyimpen film senyawa sing dikarepake ing permukaan substrat kanthi reaksi prekursor organik logam kanthi gas reaktif ing suhu dhuwur. Nalika nyiapakelapisan TaC, milih prekursor organik logam sing cocog lan sumber karbon, ngontrol kondisi reaksi lan paramèter deposisi, film TaC sing seragam lan padhet bisa disimpen ing basis grafit.
Semicera nyedhiyakake lapisan tantalum carbide (TaC) khusus kanggo macem-macem komponen lan operator.Proses lapisan semicera sing unggul ngidini lapisan tantalum karbida (TaC) entuk kemurnian dhuwur, stabilitas suhu dhuwur lan toleransi kimia sing dhuwur, ningkatake kualitas produk kristal SIC / GAN lan lapisan EPI (Susceptor TaC dilapisi grafit), lan ndawakake umur komponen reaktor utama. Panggunaan lapisan tantalum carbide TaC kanggo ngatasi masalah pinggiran lan ningkatake kualitas pertumbuhan kristal, lan Semicera wis terobosan ngrampungake teknologi lapisan tantalum karbida (CVD), tekan tingkat lanjutan internasional.
Sawise taun pembangunan, Semicera wis nelukake teknologi sakaCVD TaCkaro efforts bebarengan saka departemen R & D. Cacat gampang kedadeyan ing proses pertumbuhan wafer SiC, nanging sawise nggunakakeTaC, prabédan punika wujud. Ing ngisor iki perbandingan wafer kanthi lan tanpa TaC, uga bagean Simicera kanggo pertumbuhan kristal tunggal.
karo lan tanpa TaC
Sawise nggunakake TaC (tengen)
Kajaba iku, Semiceraproduk TaC-dilapisinuduhake urip layanan maneh lan resistance suhu dhuwur luwih dibandhingake karolapisan SiC.Pangukuran laboratorium wis nuduhake manawa kitalapisan TaCbisa terus-terusan nindakake ing suhu nganti 2300 derajat Celsius kanggo wektu lengkap. Ing ngisor iki sawetara conto conto kita:
