Semicera nyedhiyakake lapisan tantalum carbide (TaC) khusus kanggo macem-macem komponen lan operator.Proses lapisan semicera sing unggul ngidini lapisan tantalum karbida (TaC) entuk kemurnian dhuwur, stabilitas suhu dhuwur lan toleransi kimia sing dhuwur, ningkatake kualitas produk kristal SIC / GAN lan lapisan EPI (Susceptor TaC dilapisi grafit), lan ndawakake umur komponen reaktor utama. Panggunaan lapisan tantalum carbide TaC kanggo ngatasi masalah pinggiran lan ningkatake kualitas pertumbuhan kristal, lan Semicera wis terobosan ngrampungake teknologi lapisan tantalum karbida (CVD), tekan tingkat lanjutan internasional.
Operator wafer sing dilapisi karbida Tantalum akeh digunakake ing pangolahan wafer lan proses penanganan ing proses manufaktur semikonduktor. Dheweke nyedhiyakake dhukungan lan perlindungan sing stabil kanggo njamin keamanan, akurasi lan konsistensi wafer sajrone proses manufaktur. Lapisan karbida Tantalum bisa ngluwihi umur layanan operator, nyuda biaya, lan nambah kualitas lan linuwih produk semikonduktor.
Katrangan saka tantalum carbide coated wafer carrier minangka nderek:
1. Pilihan material: Tantalum carbide minangka bahan kanthi kinerja sing apik, kekerasan sing dhuwur, titik leleh sing dhuwur, tahan korosi lan sifat mekanik sing apik banget, saengga akeh digunakake ing proses manufaktur semikonduktor.
2. Lapisan lumahing: Lapisan karbida Tantalum ditrapake ing lumahing operator wafer liwat proses lapisan khusus kanggo mbentuk lapisan karbida tantalum sing seragam lan padhet. Lapisan iki bisa nyedhiyakake proteksi tambahan lan resistensi nyandhang, nalika nduweni konduktivitas termal sing apik.
3. Flatness lan presisi: Tantalum carbide coated wafer carrier nduweni tingkat flatness lan presisi sing dhuwur, njamin stabilitas lan akurasi wafer sajrone proses manufaktur. Flatness lan Rampung saka lumahing operator kritis kanggo njamin kualitas lan kinerja wafer.
4. stabilitas Suhu: Tantalum carbide ditutupi operator wafer bisa njaga stabilitas ing lingkungan suhu dhuwur tanpa ewah-ewahan bentuk utawa loosening, njupuk stabilitas lan konsistensi wafer ing pangolahan suhu dhuwur.
5. Resistensi korosi: Lapisan karbida Tantalum duwe ketahanan korosi sing apik, bisa nolak erosi bahan kimia lan pelarut, lan nglindhungi operator saka korosi cair lan gas.
karo lan tanpa TaC
Sawise nggunakake TaC (tengen)
Kajaba iku, Semiceraproduk TaC-dilapisinuduhake urip layanan maneh lan resistance suhu dhuwur luwih dibandhingake karolapisan SiC.Pangukuran laboratorium wis nuduhake manawa kitalapisan TaCbisa terus-terusan nindakake ing suhu nganti 2300 derajat Celsius kanggo wektu lengkap. Ing ngisor iki sawetara conto conto kita:
