Plat pendukung susceptor dilapisi Tantalum karbidayaiku susceptor utawa struktur pendukung sing ditutupi lapisan tipistantalum karbida. Lapisan iki bisa dibentuk ing permukaan susceptor kanthi teknik kayata deposisi uap fisik (PVD) utawa deposisi uap kimia (CVD), menehi sifat unggul saka susceptor.tantalum karbida.
Semicera nyedhiyakake lapisan tantalum carbide (TaC) khusus kanggo macem-macem komponen lan operator.Proses lapisan semicera sing unggul ngidini lapisan tantalum karbida (TaC) entuk kemurnian dhuwur, stabilitas suhu dhuwur lan toleransi kimia sing dhuwur, ningkatake kualitas produk kristal SIC / GAN lan lapisan EPI (Susceptor TaC dilapisi grafit), lan ndawakake umur komponen reaktor utama. Panggunaan lapisan tantalum carbide TaC kanggo ngatasi masalah pinggiran lan ningkatake kualitas pertumbuhan kristal, lan Semicera wis terobosan ngrampungake teknologi lapisan tantalum karbida (CVD), tekan tingkat lanjutan internasional.
Sawise taun pembangunan, Semicera wis nelukake teknologi sakaCVD TaCkaro efforts bebarengan saka departemen R & D. Cacat gampang kedadeyan ing proses pertumbuhan wafer SiC, nanging sawise nggunakakeTaC, prabédan punika wujud. Ing ngisor iki perbandingan wafer kanthi lan tanpa TaC, uga bagean Simicera kanggo pertumbuhan kristal tunggal.
Fitur utama pelat dhukungan dilapisi tantalum karbida kalebu:
1. Stabilitas suhu dhuwur: Tantalum carbide nduweni stabilitas suhu dhuwur banget, nggawe piring dhukungan basa sing dilapisi cocok kanggo kabutuhan dhukungan ing lingkungan kerja suhu dhuwur.
2. Resistensi korosi: Lapisan karbida Tantalum nduweni ketahanan karat sing apik, bisa nolak korosi lan oksidasi kimia, lan ngluwihi umur layanan saka basa.
3. Atose dhuwur lan resistance nyandhang: Ing atose dhuwur saka tantalum carbide nutupi menehi dhasar support plate resistance nyandhang apik, kang cocok kanggo kesempatan sing mbutuhake resistance nyandhang dhuwur.
4. Stabilitas kimia: Tantalum carbide nduweni stabilitas dhuwur kanggo macem-macem bahan kimia, nggawe piring support basa ditutupi nindakake uga ing sawetara lingkungan korosif.
karo lan tanpa TaC
Sawise nggunakake TaC (tengen)
Kajaba iku, Semiceraproduk TaC-dilapisinuduhake urip layanan maneh lan resistance suhu dhuwur luwih dibandhingake karolapisan SiC.Pangukuran laboratorium wis nuduhake manawa kitalapisan TaCbisa terus-terusan nindakake ing suhu nganti 2300 derajat Celsius kanggo wektu lengkap. Ing ngisor iki sawetara conto conto kita:
