IngMOCVDCara iki minangka salah sawijining proses paling stabil sing saiki digunakake ing industri kanggo tuwuh film tipis kristal tunggal sing berkualitas tinggi, kayata epilayers InGaN fase tunggal, bahan III-N, lan film semikonduktor kanthi struktur sumur kuantum multi, lan penting banget ing produksi piranti semikonduktor lan optoelektronik.
IngSiC coating susceptor MOCVDyaiku wafer wafer khusus sing dilapisi silikon karbida (SiC) kanggoepitaxial proses deposisi uap kimia organik logam (MOCVD).
Lapisan SiC nduweni resistensi kimia sing apik lan stabilitas termal, dadi pilihan sing cocog kanggo susceptor MOCVD sing digunakake ing proses pertumbuhan epitaxial.
Komponen utama proses MOCVD yaiku susceptor, sing minangka unsur kunci kanggo njamin keseragaman lan kualitas film tipis sing diasilake.
Apa iku susceptor? Susceptor minangka komponen khusus sing digunakake ing proses MOCVD kanggo ndhukung lan dadi panas ing substrat ing ngendi film tipis disimpen. Nduwe macem-macem fungsi, kalebu nyerep energi elektromagnetik, ngowahi dadi panas, lan nyebarake panas ing substrate. Pemanasan seragam iki penting kanggo pertumbuhan film tipis sing seragam kanthi kekandelan lan komposisi sing tepat.
Jinis susceptor:
1. Susceptors grafit: Susceptors grafit asring dilapisi karo lapisan protèktif kayatasilikon karbida (SiC), kang dikenal kanggo konduktivitas termal dhuwur lan stabilitas. Inglapisan SiCmenehi lumahing hard, protèktif sing tahan karat lan degradasi ing suhu dhuwur.
2. Susceptors Silicon carbide (SiC): Susceptors iki digawe kabeh saka SiC lan duwe stabilitas termal banget lan nyandhang resistance. Susceptors SiC utamané cocok kanggo pangolahan suhu dhuwur lan lingkungan korosif.
Cara kerja susceptor ing MOCVD:
Ing proses MOCVD, prekursor dilebokake ing kamar reaksi ing ngendi dheweke terurai lan bereaksi dadi film tipis ing substrate. Susceptor nduweni peran penting kanthi mesthekake yen substrate dipanasake kanthi rata, sing penting kanggo nggayuh sifat film sing konsisten ing kabeh permukaan substrat. Materi lan desain susceptor dipilih kanthi ati-ati kanggo nyukupi syarat khusus saka proses deposisi, kayata kisaran suhu lan kompatibilitas kimia.
Keuntungan nggunakake susceptors kualitas dhuwur:
• Kualitas film sing ditingkatake: Kanthi nyedhiyakake distribusi panas sing seragam, susceptor mbantu entuk film kanthi ketebalan lan komposisi sing konsisten, sing penting kanggo kinerja piranti semikonduktor.
• Efisiensi proses sing luwih apik: Susceptor kanthi kualitas dhuwur nambah efisiensi sakabèhé proses MOCVD kanthi ngurangi kemungkinan cacat lan nambah asil saka film sing bisa digunakake.
• Umur lan linuwih: Susceptors digawe saka bahan awet kayata SiC njamin linuwih long-term lan ngurangi biaya pangopènan.
Susceptor minangka komponen integral ing proses MOCVD lan langsung mengaruhi kualitas lan efisiensi deposisi film tipis. Kanggo informasi luwih lengkap babagan ukuran kasedhiya, susceptors MOCVD lan prices, aja ragu-ragu hubungi kita. Insinyur kita bakal seneng menehi saran babagan bahan sing cocog lan mangsuli kabeh pitakon sampeyan.
Telpon: +86-13373889683
WhatsApp: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com
Wektu kirim: Aug-12-2024