Silicon carbide (SiC) materi kristal tunggal nduweni jembar band longkangan gedhe (~ Si 3 kaping), konduktivitas termal dhuwur (~ Si 3,3 kaping utawa GaAs 10 kaping), tingkat migrasi saturasi elektron dhuwur (~ Si 2,5 kaping), listrik risak dhuwur lapangan (~ Si 10 kaping utawa GaAs 5 kaping) lan ciri pinunjul liyane.
Piranti SiC nduweni kaluwihan sing ora bisa diganti ing bidang suhu dhuwur, tekanan dhuwur, frekuensi dhuwur, piranti elektronik daya dhuwur lan aplikasi lingkungan sing ekstrem kayata aerospace, militer, energi nuklir, lan liya-liyane, nggawe cacat piranti bahan semikonduktor tradisional kanthi praktis. aplikasi, lan mboko sithik dadi arus utama semikonduktor daya.
Spesifikasi substrat silikon karbida 4H-SiC
Item 项目 | Spesifikasi | |
Politipe | 4H -SiC | 6H- SiC |
Dhiameter | 2 inchi | 3 inchi | 4 ing | 6 inch | 2 inchi | 3 inchi | 4 ing | 6 inch |
kekandelan | 330 μm ~ 350 μm | 330 μm ~ 350 μm |
Konduktivitas | N – tipe / Semi-isolasi | N – tipe / Semi-isolasi |
Dopan | N2 (Nitrogen)V (Vanadium) | N2 (Nitrogen) V (Vanadium) |
Orientasi | Ing sumbu <0001> | Ing sumbu <0001> |
Resistivity | 0,015 ~ 0,03 ohm-cm | 0,02 ~ 0,1 ohm-cm |
Kapadhetan micropipe (MPD) | ≤10/cm2 ~ ≤1/cm2 | ≤10/cm2 ~ ≤1/cm2 |
TTV | ≤ 15 μm | ≤ 15 μm |
Bow / Warp | ≤25 μm | ≤25 μm |
lumahing | DSP/SSP | DSP/SSP |
sasmita | Tingkat produksi / riset | Tingkat produksi / riset |
Urutan Numpuk Kristal | ABCB | ABCABC |
Parameter kisi | a=3.076A , c=10.053A | a=3.073A , c=15.117A |
Eg/eV(Band-gap) | 3.27 eV | 3.02 eV |
ε (Konstanta dielektrik) | 9.6 | 9.66 |
Indeks Refraksi | n0 = 2,719 ne = 2,777 | n0 = 2,707 , ne = 2,755 |
Spesifikasi substrat Silicon Carbide 6H-SiC
Item 项目 | Spesifikasi |
Politipe | 6H-SiC |
Dhiameter | 4 ing | 6 inch |
kekandelan | 350μm ~ 450μm |
Konduktivitas | N – tipe / Semi-isolasi |
Dopan | N2 (Nitrogen) |
Orientasi | <0001> mati 4°± 0,5° |
Resistivity | 0,02 ~ 0,1 ohm-cm |
Kapadhetan micropipe (MPD) | ≤ 10/cm2 |
TTV | ≤ 15 μm |
Bow / Warp | ≤25 μm |
lumahing | Si Pasuryan: CMP, Epi-Siap |
sasmita | Tingkat riset |