Substrat Silicon Carbide|Wafer SiC

Katrangan singkat:

WeiTai Energy Technology Co., Ltd. minangka pemasok utama sing duwe spesialisasi ing wafer lan bahan semikonduktor canggih.Kita darmabakti kanggo nyedhiyakake produk sing berkualitas, dipercaya, lan inovatif kanggo manufaktur semikonduktor, industri fotovoltaik lan lapangan liyane sing gegandhengan.

Lini produk kita kalebu produk grafit sing dilapisi SiC / TaC lan produk keramik, nyakup macem-macem bahan kayata silikon karbida, silikon nitrida, lan aluminium oksida lan sapiturute.

Saiki, kita mung siji-sijine pabrikan sing nyedhiyakake kemurnian 99.9999% lapisan SiC lan 99.9% karbida silikon sing direkristalisasi.Dawane lapisan SiC maksimal sing bisa ditindakake 2640mm.


Detail Produk

Tag produk

SiC-Wafer

Silicon carbide (SiC) materi kristal tunggal nduweni jembar celah pita gedhe (~ Si 3 kali), konduktivitas termal dhuwur (~ Si 3,3 kali utawa GaAs 10 kali), tingkat migrasi saturasi elektron dhuwur (~ Si 2,5 kali), listrik rusak dhuwur lapangan (~ Si 10 kaping utawa GaAs 5 kaping) lan ciri pinunjul liyane.

Piranti SiC nduweni kaluwihan sing ora bisa diganti ing bidang suhu dhuwur, tekanan dhuwur, frekuensi dhuwur, piranti elektronik daya dhuwur lan aplikasi lingkungan sing ekstrem kayata aerospace, militer, energi nuklir, lan liya-liyane, nggawe cacat piranti bahan semikonduktor tradisional ing praktis. aplikasi, lan mboko sithik dadi arus utama semikonduktor daya.

Spesifikasi substrat silikon karbida 4H-SiC

Item 项目

Spesifikasi

Politipe
晶型

4H -SiC

6H- SiC

Dhiameter
晶圆直径

2 inchi |3 inchi |4 ing |6 inch

2 inchi |3 inchi |4 ing |6 inch

kekandelan
厚度

330 μm ~ 350 μm

330 μm ~ 350 μm

Konduktivitas
导电类型

N – tipe / Semi-isolasi
N型导电片/ 半绝缘片

N – tipe / Semi-isolasi
N型导电片/ 半绝缘片

Dopan
掺杂剂

N2 (Nitrogen)V (Vanadium)

N2 (Nitrogen) V (Vanadium)

Orientasi
晶向

Ing sumbu <0001>
Sumbu mati <0001> mati 4°

Ing sumbu <0001>
Sumbu mati <0001> mati 4°

Resistivity
电阻率

0,015 ~ 0,03 ohm-cm
(4H-N)

0,02 ~ 0,1 ohm-cm
(6H-N)

Kapadhetan micropipe (MPD)
微管密度

≤10/cm2 ~ ≤1/cm2

≤10/cm2 ~ ≤1/cm2

TTV
总厚度变化

≤ 15 μm

≤ 15 μm

Bow / Warp
翘曲度

≤25 μm

≤25 μm

lumahing
表面处理

DSP/SSP

DSP/SSP

sasmita
产品等级

Tingkat produksi / riset

Tingkat produksi / riset

Urutan Numpuk Kristal
堆积方式

ABCB

ABCABC

Parameter kisi
晶格参数

a=3.076A , c=10.053A

a=3.073A , c=15.117A

Eg/eV(Band-gap)
禁带宽度

3.27 eV

3.02 eV

ε (Konstanta dielektrik)
介电常数

9.6

9.66

Indeks Refraksi
折射率

n0 = 2,719 ne = 2,777

n0 = 2,707 , ne = 2,755

Spesifikasi substrat Silicon Carbide 6H-SiC

Item 项目

Spesifikasi

Politipe
晶型

6H-SiC

Dhiameter
晶圆直径

4 ing |6 inch

kekandelan
厚度

350μm ~ 450μm

Konduktivitas
导电类型

N – tipe / Semi-isolasi
N型导电片/ 半绝缘片

Dopan
掺杂剂

N2 (Nitrogen)
V (Vanadium)

Orientasi
晶向

<0001> mati 4°± 0,5°

Resistivity
电阻率

0,02 ~ 0,1 ohm-cm
(Tipe 6H-N)

Kapadhetan micropipe (MPD)
微管密度

≤ 10/cm2

TTV
总厚度变化

≤ 15 μm

Bow / Warp
翘曲度

≤25 μm

lumahing
表面处理

Si Pasuryan: CMP, Epi-Siap
C Face: Semir optik

sasmita
产品等级

Tingkat riset

Panggonan Kerja Semicera Panggonan kerja Semicera 2 Mesin peralatan Pengolahan CNN, reresik kimia, lapisan CVD layanan kita


  • Sadurunge:
  • Sabanjure: